真空漏れ試験機
第二装置開発室は新旧2台のヘリウム・リークディテクタを備えています。両者とも、試験しようとする容器の内部を真空引きし、外部からヘリウムガスを吹き付けて、容器内に進入するヘリウムを高感度のヘリウム検出器によって検知するものです。
旧型はULVAC(日本真空)のDLMS-33A(据え置き型) 新しいものはULVACのHELIOT-704D3(可搬式)です。
DLMS-33Aは高感度であることが特徴で、すぐ横の真空排気台と合わせて、大きな漏れから極小の漏れにいたるまで、幅広く漏れ検査を行うことができるように工夫してあります。この装置は鋼感度であるがために、検出器が安定に働くまでに2時間ほどの時間が必要です。
HELIOT-704D3は昨年度導入した装置で、ターボ分子ポンプの粗挽き系を備えているために、どこでも現場に持っていって漏れ試験を行うことができます。この漏れ試験機は全て自動運転となっており、検出器も短時間に安定するので、漏れ試験機に特徴的な神経質さはなく、誰でも使うことができるもが特徴です。